• <th id="tg4bw"><pre id="tg4bw"><sup id="tg4bw"></sup></pre></th>
    <em id="tg4bw"><tr id="tg4bw"></tr></em>
    <th id="tg4bw"></th>

  • <em id="tg4bw"></em>

      一種oled顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版的制作方法

      發布日期:2018-04-11 瀏覽次數:1060

        一種oled顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版的制作方法

        【專利摘要】本實用新型公開了一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版,其中裝置包括在金屬基板上設置多個通孔形成的邊框,在邊框的上表面電鑄有一層精細掩膜從而使精細掩膜與邊框結合為一體,所述精細掩膜劃分有精細結構部分形成的圖形區域和邊框區域,所述圖形區域與邊框上的通孔相對應。本實用新型的精細掩膜和邊框是結合緊密的、一體化結構,增加精密金屬掩膜版的強度,省去了將精細金屬掩膜版焊接到邊框上的過程,簡化制作過程,降低制作成本。

        【專利說明】一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版

        【【技術領域】】

        [0001]本實用新型涉及半導體制造【技術領域】,更具體地說,涉及一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版。

        【【背景技術】】

        [0002]當前高像素密度的OLED (有機發光二極管,又稱為有機電激光顯示,具有自發光的特性)顯示面板的生產需要采用厚度很薄、熱膨脹系數小的精細金屬掩膜版(Fine MetalMask, FMM)來作為掩膜版(或稱蔭罩板),用來蒸鍍OLED面板像元內的有機發光體(三基色)。

        [0003]OLED用精細金屬掩膜版通常使用因瓦合金(INVAR,又稱殷鋼)通過化學刻蝕的方法來制備,首先在因瓦合金表面涂覆光刻膠或感光干膜,通過曝光的方式將掩膜板的精細圖案轉移在感光膜上,再通過顯影和化學刻蝕的方式最后制成精細金屬掩膜版。

        [0004]通常精細金屬掩膜版的厚度只有30-200um,既薄又脆,將精細金屬掩膜版貼在蒸鍍有機發光體像元的基板(玻璃片或柔性的基材)表面,并保持很高的位置精度是非常困難的。需要將精細金屬掩膜版采用 激光焊接在金屬框架上才能使用。在焊接過程中,由于要對金屬掩膜版施加的張力不均勻或熱效應等因素,很容易產生移位或損壞這張很薄的金屬掩膜版。

        [0005]另外,由于OLED的制備過程,每隔一段時間就必須通過清潔來阻止精細金屬掩膜版中的圖案因殘留物質引起的缺陷,非常容易導致精細金屬掩膜版中某些圖像單元的損壞,因此精細金屬掩膜版大約每兩個月就必須進行更換。由于以上各因素使得OLED顯示面板生產過程中,用于精細金屬掩膜版的成本相當昂貴。

      免费1级做爰片l在线观看,日本旅游,两性视频,caoponrn免费公开视频